预对准器在不到半秒的时间内确定晶圆片的位置和方向,而机械预对准器通常必须旋转晶圆片几秒钟。NotchMax是该供应商几何图形查找技术家族的最新成员,其中心定位精度为+/-15m,定位精度为+/-0.05度
Cognex集团。
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In-Sight 1820基于视觉的晶圆预对准器提供精确的非接触测量晶圆位置和方向。
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