
GF系列的可用流量已从以前的3 sccm- 30 slpm增加到新的全尺寸流量55 slpm。模块化、用户可编程、金属密封的GF系列质量流量控制器具有MultiFlo技术,可以在30秒内对气体和全量程进行简单的重新编程,而无需从气体管道上拆卸质量流量控制器。与传统的单点气体转换因子相比,MultiFlo质量流量控制器通过应用先进的气体建模和对非理想/非线性气体的补偿,将精度提高了三倍。
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