集成花岗岩运动系统

如轴承，编码器和驱动机构等机器部件在整体花岗岩运动（IGM）系统中直接设计并直接组装在花岗岩基座和桥接结构上，与传统的花岗岩系统不同，其中离散定位阶段和组件在其中系统设计。系统可以具有比舞台上花岗岩产品更高的刚度，因为它们的结构环中有更少的部件，导致更高的精度和更好的动态性能。系统是定制的，以满足用户的特定需求，可以设计有机械或空气轴承，滚珠丝杠或线性电机驱动器，以及各种反馈元件，包括从编码器到激光干涉仪。额外的运动轴，如旋转，电梯或压电级，甚至电流计扫描仪，可以集成到轴上，所有这些都可以从公司的A3200统一控制平台中控制。

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