这种组合允许具有低于所有权成本的非常高的刚度,并且可以轻松更换用于计量的旋转空气轴承系统。系统可以在增量或绝对模型中排序,其中增量版本具有每转的30,000个信号周期,系统精度降至±2.5秒。绝对版本具有相同的精度级别和分辨率至28位,通过endat 2.2接口。无槽铁芯Etel扭矩电动机的峰值扭矩为2.7nm,额定扭矩为0.387nm,并且制动扭矩为额定值的0.2%。电机被评定为300 RPM,并允许极其平稳的运动。该装置的高度仅为46.3毫米,直径为124毫米。建议的应用是半导体制造,计量和微机械线。该系统旨在与ETEL的精度位置控制器一起使用,因为在动力学,热管理和位置稳定性方面可以实现绝对峰值性能。可以使用其他控制器,但必须在控制器中保持热过载保护。
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