压电级提供可选的闭环反馈使用电容传感器设计的亚纳米分辨率和高线性度。规格包括分辨率为0.15 nm,线性度为0.007%,重复性为2 nm。各种行程(100µm到600µm),反馈选项,和真空版本是可用的。谐振频率高达885赫兹。电容式传感器直接测量定位架的输出,具有较高的精度和可重复性。开环为需要紧凑尺寸、高动力学和亚纳米定位分辨率,但不需要绝对定位精度和重复性的应用提供了一种经济有效的选择。开环设计也可以用于通过外部反馈源(干涉仪、视觉系统、光电探测器等)控制压电位置。当与该公司的q系列控制器和驱动器相结合时,该级表现出亚纳米定位分辨率、位置稳定性(抖动)和高定位带宽。动态控制工具箱和运动设计器等软件选项提供了学习控制、谐波消除和命令整形等工具,提供了改进的跟踪误差和更快的步进-调整时间。
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