GF101高纯度质量流量控制器是该公司的GF100的高流量版本，具有耐用性和高泄漏完整性的全金属密封流道，以及稳定的流量控制和快速、不到1秒的沉淀时间，以帮助减少非生产工具时间。它支持高达300slpm的氮气当量流量。GF121超高纯度质量流量控制器提供了一个紧凑的控制器选项，流量高达300 slpm N2当量，用于需要超高纯度气体输送的过程应用。与其他GF100 MFC系列产品一样，它具有紧凑的占地面积和全金属密封流道，具有耐久性和高泄漏完整性。GF126超高纯度PTI质量流量控制器建立在早期的GF125 PTI模型上，设计用于需要高流速高达300 slpm N2当量和超高纯度的紧凑装置的工艺应用。它使用一种专有的控制算法来保持稳定的流量，将多达四个独立设备(调节器、压力传感器、温度传感器和MFC)的功能组合成一个单一的、紧凑的、高性能的设备。所有三个单元都具有多个数字和模拟I/O接口选项。
>>有关此产品的更多信息，请单击在这里
布鲁克斯仪器
www.brooksinstrument.com.
888.554.3569
公司在本文中
