来自瑞士传感器制造商Sensirion的最新液体流量传感器因其超纯材料和卓越的精度而出类拔萃。小型SLQ-QT500传感器专为半导体行业的需求而设计:“SLQ-QT500非常适合半导体行业的高纯度要求。它可以用于监测各种液体的涂层过程，并实现最佳的过程安全，”Andres Laib博士说，液流产品销售总监。
SLQ-QT500涵盖流量从0 - 120ml/min。与所有Sensirion液体流量传感器一样，它的流道是绝对直的，没有移动部件。该传感器基于CMOSens®专利技术。微热流量测量通过流道壁进行，流道壁将芯片与被测液体分离。因此，只有PFA管和石英流道与液体直接接触。这保证了传感器具有极好的耐化学性。得益于这些功能以及RS485数字接口，传感器能够实现非常可靠的测量，采样率高达1毫秒。
有了这种独特的技术，即使是粘度非常高的液体(100,000 cP以上)也不是问题。Andres Laib说:“该传感器适用于测量碳氢化合物溶剂，如光阻剂，以及水基液体，如TARC和H2O2。使用SLQ-QT500，几乎可以测量任何粘度的液体以及含有颗粒的液体。这使得该传感器在液体流量传感器行业中是独一无二的。”
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