高速EtherCAT质量流量控制器

一些改进有助于最大化EtherCAT功能的使用，并提高下一代工具和晶圆厂的工艺产量和生产率。嵌入式诊断使用实时EtherCAT数据采集功能，用于高级故障检测和分类;一个超稳定的流量传感器(0.15%的S.P.漂移每年)可以更紧凑的低设定点精度，并减少维护要求;改进的阀门关闭，减少阀门泄漏，最大限度地减少潜在的第一晶圆效应。压力瞬变不敏感性降低到小于1%的S.P.，压力扰动为5psi /秒，可以降低串扰的敏感性，以保证稳定的质量流量。该控制器适用于半导体蚀刻工具;薄膜化学气相沉积系统(CVD、MOCVD、PECVD、ALD);物理气相沉积(PVD)系统和外延加工系统。EtherCAT接口将用于GF系列低流量型号(GF100/120/125);高流量器件(GF101/121/126); and safe delivery system (SDS) models GF120 XSL and GF120 XSD.

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布鲁克斯仪器
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