布鲁克斯仪器介绍了用于蚀刻和CVD工艺的首先完全压力不敏感的压力系列流量控制器，用于半导体制造中的蚀刻工艺

布鲁克斯乐器, a leader in precision fluid measurement and control technology, has released the newGP200系列，专门用于半导体制造中的蚀刻和化学气相沉积（CVD）工艺的第一完全压力不敏感的压力基质流量控制器（P-MFC）。

Mass flow controllers (MFCs) are the most important component in the gas delivery systems used to produce silicon wafers. MFCs must precisely deliver inert, corrosive and reactive gases to the process chamber, even when operating at very low vapor pressures.

The GP200 Series P-MFC operates well in high-vacuum conditions and above atmospheric pressure conditions that are intrinsic to etch and CVD processes. In comparison, conventional discrete P-MFCs can operate under high-vacuum conditions but degrade in performance and control range as the outlet pressures increase. By offering a greater operating range than conventional P-MFCs, the GP200 Series can improve etch process performance and expand the application scope to include CVD processes.

“历史上，在半导体制造气体输送系统中，热MFC已经更大地使用;然而，基于压力的MFC在普及，因为它们提供了显着的优势，“布鲁克斯乐器首席技术官Mohamed Saleem博士说。“我们专门设计了我们的压力不振的GP200系列，以优化蚀刻和CVD流程，具有高精度，可重复的气体输送。”

GP200系列单元具有专利架构，克服了传统P-MFC的局限性，即使在输送低蒸汽压力工艺气体时也能提供最精确的工艺气体输送。它包括几个独特的设计方面，包括：

集成差压传感器：GP200系列使用与绝对压力传感器配对的集成差压传感器来计算压降，而不是使用两个离散的压力传感器，通常在传统的P-MFC中找到。该组合可从校准问题中减少测量不确定性，并提高半导体过程中的精度，重复性和漂移性能。

层流量元件：GP200系列还具有设计用于低压下降的层流元件，具有最佳地测距的差压传感器。该设计使得可以精确地测量蚀刻工艺中使用的挑战低蒸气压工艺气体的流动，包括四氯化硅，三氯化硼和六氟丁二烯。然而，传统的P-MFC需要高入口压力来操作，所有操作条件中GP200系列的高精度和可重复性使其适用于标准压力和临界低蒸气气压。

Downstream Valve Architecture:通过将控制阀定位在流动限制器的下游，GP200系列基本上免受下游压力波动以及上游压力波动，这使得流量进入高达1200托的压力。

超快速，高度可重复的瞬态响应：该下游阀架构还可以快速关闭和切换配方设定点，用于脉冲气体输送。快速响应时间使得更紧密的过程控制，提供精确，高度可重复的气流输送，具有匹配的瞬态响应。

As the GP200 Series supports such a broad range of process conditions, it can be used as a drop-in replacement and upgrade for many traditional P-MFCs and thermal MFCs. It reduces the complexity and cost of ownership of the gas delivery system because it eliminates the need for components such as pressure regulators and transducers.

访问经验.brooksinstumer.com/pressure-based-mass-flow-controller-gp200.访问数据表，解释视频和白皮书详细介绍了与离散压力传感器相比如何提高GP200系列的准确性和可重复性。