4800系列设计了基于微机电系统(MEMS)的热传感器,据说可以对气体流速的变化做出异常快速的响应。与典型的热技术相比,MEMS传感器通过允许气体直接流经传感器,实现了非常快的响应速率。与传统的热质量流器件相比,这种紧凑的传感器还可以大幅减小尺寸。Brooks 4800系列非常适合测量和控制常见气体,包括空气,N2, O2, Ar, He, H2, CO2, CO, N2O, CH4, CH3H6和C3H8。专用PID算法用于优化控制阀的响应,确保快速稳定时间和快速匹配实际质量流量的任何变化的设定值。
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