全球纳米定位设备前导PI(Physik公司INSTRUMENTE)已基于低轮廓平行运动学运动装置设计和发布了两个新的紧凑多轴定位阶段。由压电陶瓷马达驱动,纳米精度是基于低发热和自由漂移自动位置夹紧特征具有高稳定性一起实现。
的N- 865高端 - 薄型6轴运动平台,2纳米的最小增量运动
这种高端系统是基于专有PiezoWalk®直线电机技术。它在X, Y, Z上提供了2纳米的最小增量运动,在俯仰,偏航和滚转上提供了0.2微米的角运动。N-865可以支持高达15N的负载。集成的专用线性编码器以0.5纳米的分辨率测量位置。
q - 845紧凑6轴运动平台,6纳米的最小增量运动
Q-845是一款高性能、紧凑的基于压电惯性驱动的6轴系统,可提供最小6纳米的增量运动。集成线性编码器以1纳米分辨率测量位置,并向6轴控制器提供反馈。Q-845可承受10n的载荷,速度可达5mm/秒。
虚拟可编程枢轴点
这两种六轴系统都提供软件可编程虚拟枢轴点,这是校准过程的决定性特征,如在SiP和微光学应用程序中所需要的。
规格,数据表,更多信息
http://www.pi-usa.us/products/Micropositioning_Stage_Hexapod/hexapod-6-axis-stage.php#SpaceFAB
标准和自定义
PI拥有超过40年的内部工程解决方案经验,与客户合作,提供满足应用需求的产品,并可以快速修改现有产品设计或提供完全定制的OEM部件,以满足应用的确切要求。
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