订阅
产品
工厂
过程
下载
时事通讯
布鲁克斯仪器
http://www.brooksinstrument.com/
电话:
1-888-554-3569
布鲁克斯乐器报道
控制
布鲁克斯仪器介绍了第一个全压力不敏感的基于压力的质量流量控制器，用于半导体制造中的蚀刻和CVD过程
新型GP200系列在行业最广泛的操作条件下提高了半导体制造中的流量测量精度和重复性。
控制
质量流量控制器具有高速以太网/IP接口
布鲁克斯仪器在其SLA5800系列质量流量控制器家族中增加了以太网/IP数字通信接口。
控制
高速EtherCAT质量流量控制器
Brooks仪器的新版本配备了高速EtherCAT接口，适用于高流量和低流量工艺气体应用。
数据
布鲁克斯:质量流量控制器
在GF100系列中增加了三个部件，为半导体和LED制造过程中的气体流量控制提供了更高的流量、更高的精度和更快的响应时间。
数据
布鲁克斯仪表:压力传感器接受国际防爆等级
Brooks Instrument是世界领先的先进流量、压力、真空和液位解决方案供应商，其SolidSense II压力传感器获得了国际电工委员会(IECEx)认证。
