Brooks乐器

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质流表和质流控制器Brooks证明流测量和控制挑战的解决方案拥有60多年经验的Brooks提供Coriolis质流控制器和表、热质流控制器和表、可变区流表、电容压力计、压力控制器(压力控制器、压力计、压力传送器、压力传感器等)和水平测量技术改善流程

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危险区质流控制器

11月142023
SLAMf数列密封热流控制器这些
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质流控制器高频Ethernet/IP接口

2019年3月20日
Brooks乐器将Ethernet/IP数字通信接口加进SLA5800Series质量流控制器
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高频EtherCAT大规模流控

奥古斯特72016
Brooks工具新版配有高速EtherCAT接口,用于高流和低流处理气应用
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Brooks:大规模流控制器

11月142013
GF100Series添加三点提供更高流、更高精度和更快响应时间半导体和LED制造流程中气流控制
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Brooks工具:压力传感器接收国际爆破评分

十二月212012
Brooks工具公司是世界领先的先进流压、吸尘器和级解决方案提供商,已经获得国际电工委员会认证

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Brooks工具为半导体制造中的Etch和CVD进程引入对压力不敏感质控

八进制142021
新的GP200序列提高半导体制造流度精度和可重复性,超出行业最广操作条件范围

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